Kurzinformation Web Publish

 

 

Allgemeine Informationen zum Web Publish. 1

Tipp: 1

Beispiel : Mikroelektronik – Pareto Analyse und Kreuzklassifikation   1

Ergebnisse. 3

Weitere Informationen. 3

 

Allgemeine Informationen zum Web Publish

Das Programm Statgraphics ab der Version 5 bietet die gute Möglichkeit der Veröffentlichung der Ergebnisse im Internet / Intranet.

 

Mit der neuen Funktion StatPublish ist eine Veröffentlichung der Ergebnisse eines StatFolios im Web oder Intranet möglich. Es entsteht eine Vielzahl von htm- und jpg-Dateien, die im Internet Explorer angezeigt werden können. Da eröffnen sich völlig neue Möglichkeiten in der Nutzung von STATGRAPHICS®.

Tipp:

Bei dem Webpublish werden die Einstellungen für Kopf- und Fußzeile aus den Druckereinstellungen übernommen!

 

Weitere Informationen als PDF

 

Beispiel : Mikroelektronik – Pareto Analyse und Kreuzklassifikation

Analyse von Schichtresten aus der Waferfertigung

 

In diesem Beispiel erfolgt die Auswertung von verschiedenen Schichtresten in der Mikroelektronik.

Die Daten sind simuliert, widerspiegeln aber den realen Sachverhalt einer Halbleiterfertigung.

 

 

Folgende Fehler wurden bewertet:

 

Code

Bezeich

Bemerkung

1

ALU I

Reste im Alu I (erste Metallisierungsebene)

2

ALU II

Reste im Alu II(zweite Metallisierungsebene)

3

GOX I

Reste / Defekte im Gateoxid  I

4

GOX II

Reste / Defekte im Gateoxid  II

5

Poly I

Reste / Defekte im Poly I

6

Poly II

Reste / Defekte im Poly II

7

Lackreste

Lackreste

8

Nitrid

Nitridreste

9

MEM OX

Reste/Defekte im Oxid Mehrebenenmetallisierungskomplex (MEM)

10

PASS OX

Reste / Defekte im Passivierungsoxid

 

Die fehlerhaften Wafer stammen aus 4 Technologievarianten und FuE (I,II;III;IV,FuE).

 

Verwendetes Datenfile:

 

 

Ergebnisse

Ergebnisse im htm, ...

Datenfile Paretoanalyse web.sf3

Statfolio Paretoanalyse.sgp

Weitere Informationen

Weitere Infos als PDF

und im Praxishandbuch